Установка MicroProf 200 TTV
| Номер в ГРСИ РФ: | 84128-21 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | FRT GmbH, Германия |
| Межповерочный интервал: | 1 год |
| Заводской номер: | MPR1465 |
Общая информация
Установка MicroProf 200 TTV (далее по тексту – установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления. Подробнее
Установка MicroProf 200 TTV (производитель FRT GmbH, Германия) внесены в Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №84128-21.
Информация о поверке
Поиск результатов поверки:
Найдено результатов поверки: 1
Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Номер в госреестре | 84128-21 |
| Наименование СИ | Установка |
| Обозначение типа СИ | MicroProf 200 TTV |
| Номер записи | 185517 |
| Дата опубликования | 23 декабря 2021 г. |
| Страна и предприятие-изготовитель | |
|---|---|
| Изготовитель | FRT GmbH, Германия |
| Страна | ГЕРМАНИЯ |
| Населенный пункт | |
| Отсутствует в списке лиц, направивших уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности | Да |
| Предприятие-изготовитель | FRT GmbH |
| Общее | |
|---|---|
| Процедура | Стандартная |
| Сведения о типе СИ | Заводской номер |
| Заводской номер | MPR1465 |
| Межповерочный интервал | |
|---|---|
| МПИ | 1 год |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Дополнительно | |
|---|---|
| Статус | Действует |
Описание типа СИ №84128-21
Назначение
Установка MicroProf 200 TTV (далее по тексту - установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
Описание
Принцип действия установки основан на хроматической аберрации оптических линз. Образец освещается сфокусированным лучом белого света. Пассивная линза с большой хроматической аберрацией рассеивает луч белого свет вертикально в различные цветовые фокусные точки и, соответственно, высоты. Сфокусированный луч света отражается от поверхности измеряемого объекта и попадает в миниатюрный спектрометр через ту же линзу и стекловолоконный кабель. Длина волны отраженного луча света зависит от расстояния между датчиком и измеряемым объектом.
Установка состоит из измерительного датчика, прецизионного стола с встроенными калибровочными образцами с номинальными значениями толщины 500 и 700 мкм, гранитного демпфирующего основания и управляющего компьютера с TFT-монитором.
Общий вид установки представлен на рисунке 1.
Пломбирование не предусмотрено.
Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Установка данного типа имеет зав. № MPR1465, нанесенный на наклейке, расположенной на задней части корпуса.
Программное обеспечение
Установка имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью которого осуществляется управление работой установки и сбор данных.
Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Acquire |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
5.1.2.0 и выше |
При работе с установкой пользователь не имеет возможности влиять на процесс расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные.
Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 1 - Основные метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины, мкм |
от 150 до 1500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм |
±(0,5+0,005-L), где L, мкм |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний прогиба и коробления пластины, мкм |
от 0 до 200 |
|
Диаметр контролируемой пластины, мм |
от 76,2 до 200 |
|
Параметры электрического питания: - напряжение, В - частота, Гц |
от 198 до 242 50 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - длина - ширина - высота |
1100 820 1800 |
|
Масса, кг, не более |
500 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды °С |
от +15 до +25 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка |
MicroProf 200 TTV |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Методика поверки |
МП 203-31-2021 |
1 экз. |
Сведения о методах измерений
пункт 3 руководства по эксплуатации
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя