GRmetr.ru

Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380

91010-24: Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380
Номер в ГРСИ РФ: 91010-24
Производитель / заявитель: Hitachi High-Technologies Corporation, Япония
Межповерочный интервал: 1 год
Заводской номер: 2153-04

Общая информация

Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее– микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.

Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (производитель Hitachi High-Technologies Corporation, Япония) внесены в Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №91010-24.

Скачать

91010-24: Описание типа СИ Скачать
91010-24: Методика поверки Скачать

Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #

Основные атрибуты
Номер в госреестре 91010-24
Наименование СИ Микроскоп растровый электронный
Обозначение типа СИ Hitachi S-9380
Номер записи 192913
Дата опубликования 17 января 2024 г.
Страна и предприятие-изготовитель
Изготовитель Hitachi High-Technologies Corporation, Япония
Общее
Процедура Стандартная
Сведения о типе СИ Заводской номер
Заводской номер 2153-04
Межповерочный интервал
МПИ 1 год
Наличие периодической поверки Да
Дополнительно
Статус Действует
80322-20
80322-20: Микроскоп электронный сканирующий  Quattro S ESEM
Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США
46918-11
46918-11: Микроскопы сканирующие зондовые СММ-2000
ОАО "Завод Протон-МИЭТ", г.Москва
57712-14
57712-14: Микроскопы видеоизмерительные MM2 Garant
Компания "Hoffmann GmbH Qualitatswerkzeuge", Германия