Общая информация
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (далее– микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов топологии интегральных схем в полупроводниковом производстве на пластинах диаметром 200 мм.
Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (производитель Hitachi High-Technologies Corporation, Япония) внесены в
Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №91010-24.
Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #
| Основные атрибуты |
| Номер в госреестре |
91010-24 |
| Наименование СИ |
Микроскоп растровый электронный |
| Обозначение типа СИ |
Hitachi S-9380 |
| Номер записи |
192913 |
| Дата опубликования |
17 января 2024 г. |
| Страна и предприятие-изготовитель |
| Изготовитель |
Hitachi High-Technologies Corporation, Япония |
| Общее |
| Процедура |
Стандартная |
| Сведения о типе СИ |
Заводской номер |
| Заводской номер |
2153-04 |
| Межповерочный интервал |
| МПИ |
1 год |
| Наличие периодической поверки |
Да |
| Дополнительно |
| Статус |
Действует |
Фирма "FEI Ltd.", Нидерланды
Фирма "OLYMPUS Corporation", Япония
