Интерферометр GPI XP/D
| Номер в ГРСИ РФ: | 63646-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Zygo Corporation", США |
| Межповерочный интервал: | 1 год |
| Заводской номер: | зав.№ ST06455 |
Общая информация
Интерферометр GPI XP/D ( далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институтах, оптическом приборостроении. Подробнее
Интерферометр GPI XP/D (производитель Фирма "Zygo Corporation", США) внесены в Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №63646-16.
Информация о поверке
Поиск результатов поверки:
Найдено результатов поверки: 2
Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Номер в госреестре | 63646-16 |
| Наименование СИ | Интерферометр |
| Обозначение типа СИ | GPI XP/D |
| Номер записи | 154850 |
| Дата опубликования | 8 мая 2018 г. |
| Страна и предприятие-изготовитель | |
|---|---|
| Изготовитель | Фирма "Zygo Corporation", США |
| Страна | СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ |
| Отсутствует в списке лиц, направивших уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности | Да |
| Предприятие-изготовитель | Фирма "Zygo Corporation" |
| Общее | |
|---|---|
| Процедура | Стандартная |
| Сведения о типе СИ | Заводской номер |
| Заводской номер | зав.№ ST06455 |
| Межповерочный интервал | |
|---|---|
| МПИ | 1 год |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Дополнительно | |
|---|---|
| Статус | Действует |
Описание типа СИ №63646-16
Назначение
Интерферометр GPI XP/D (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институтах, оптическом приборостроении.
Описание
Прибор построен по схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в нем используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 150 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь закрепляют в специальную оправу, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок электромагнитного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости матричного приемника создается интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Для автоматизации измерений на приборе используется специальный электронный блок управления, в котором реализован метод фазовых шагов для автоматической расшифровки интерферограмм. Анализ интерференционных картин и определение на его основе параметров формы контролируемой поверхности или отраженного от нее волнового фронта выполняется по специальной программе с помощью ПК.
Программное обеспечение
Прибор оснащен программным обеспечением MetroPro версии v.8.2. Вычислительные алгоритмы MetroPro расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометра GPI XP/D
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
MetroPro |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.8.2 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
Код доступа |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является отсутствие возможности установки его на компьютер, к которому не подключен контроллер видео измерительной системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения прибора соответствует уровню «высокий» в
соответствии с Р 50.2.077-2014.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометра GPI XP/D
|
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,06 до 2,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм |
±0,03 |
|
Диапазон измеряемых диаметров, мм |
от 50 до 150 |
|
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 Длина волны лазера, не более, нм Мощность, не более, мВт |
3А 633 5 |
|
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, не более, Гц |
30 |
|
Параметры электропитания Напряжение, В Частота, Гц |
от 230 до 240 вкл. от 50 до 60 вкл. |
|
Масса, не более, кг |
41 |
|
Габаритные размеры, не более, мм - длина - ширина - высота |
992 308 308 |
|
Условия эксплуатации: Нормальная область значения температуры, ° С Относительная влажность воздуха, не более, % |
20±2 95 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом, а также на торец корпуса прибора методом наклейки.
Комплектность
Таблица 3 - Комплектность средств измерений
|
Наименование |
Кол-во |
Примечание |
|
Интерферометр GPI XP/D |
1 шт. | |
|
Руководство по эксплуатации |
1 экз. | |
|
Методика поверки |
1 экз |
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 63646-16 «Интерферометр GPI XP/D.
Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в мае 2015 г.
Основные средства поверки:
- мера отклонений от плоскостности 0 200 мм, (№ ГР 48279-11).
Знак поверки в виде оттиска клейма поверителя и голографической наклейки наносится на свидетельство о поверке.
Сведения о методах измерений
содержатся в документе «Интерферометр GPI XP/D. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-производителя.
