Общая информация
Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (далее – прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин p-n переходов, послойного и трёхмерного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях.
Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (производитель Фирма "ION-TOF GmbH", Германия) внесены в
Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №74813-19.
Информация о поверке
Поиск результатов поверки:
Найдено результатов поверки: 2
Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #
Основные атрибуты |
Номер в госреестре |
74813-19 |
Наименование СИ |
Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный |
Обозначение типа СИ |
ToF.SIMS 5-100 |
Номер записи |
Нет данных |
Дата опубликования |
Нет данных |
Страна и предприятие-изготовитель |
Изготовитель |
Фирма "ION-TOF GmbH", Германия |
Общее |
Процедура |
Стандартная |
Сведения о типе СИ |
Заводской номер |
Заводской номер |
212258 |
Межповерочный интервал |
МПИ |
1 год |
Наличие периодической поверки |
Да |
Дополнительно |
Статус |
Действует |
Фирма "Agilent Technologies", Австралия
Фирма "Bruker Optik GmbH", Германия
Фирма "Bruker Elemental GmbH", Германия
Общество с ограниченной ответственностью «МЕТТЕК»(ООО «МЕТТЕК»), г. Санкт-Петербург