Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100

Номер в ГРСИ РФ:	74813-19
Производитель / заявитель:	Фирма "ION-TOF GmbH", Германия
Межповерочный интервал:	1 год
Заводской номер:	212258

Общая информация

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (далее – прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин p-n переходов, послойного и трёхмерного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях.

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (производитель Фирма "ION-TOF GmbH", Германия) внесены в Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №74813-19.

Информация о поверке

Поиск результатов поверки:

Найдено результатов поверки: 2

Скачать

	74813-19: Описание типа СИ	Скачать
	74813-19: Методика поверки	Скачать

Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #

Основные атрибуты
Номер в госреестре	74813-19
Наименование СИ	Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный
Обозначение типа СИ	ToF.SIMS 5-100
Номер записи	Нет данных
Дата опубликования	Нет данных