Эллипсометр спектральный APECS 3000

Номер в ГРСИ РФ:	43467-09
Производитель / заявитель:	Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия
Межповерочный интервал:	1 год
Заводской номер:	зав.№ 05-0405-003

Общая информация

Эллипсометр спектральный модели АРЕС S 3000 предназначен для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства , а также оптических параметров слоев , зависящих от толщины , таких , как коэффициенты отражения , поглощения , преломления . Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр спектральный модели АРЕС S 3000 как в производстве на межоперационном контроле , так и для научно исследовательских работ . Эллипсометр спектральный модели АРЕС S 3000 может применяться в полупроводниковом производстве , производстве головок магнитных дисков , интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок . ОПИСА HI4Е Эллипсометр спектральный модели АРЕС S 3000 состоит из двух основных блоков : измерительного блока и транспортной системы . Измерительный блок включает в себя все оптические компоненты , такие как спектральный эллипсометр , систему автофокуса , систему видеофокуса и выравнивающую систему . Также он включает в себя рабочий столик , систему предварительной центровки пластин , пульт управления питанием , пульт управления оператора и шасси для всей электроники . Транспортная система состоит из двух лифтов дл

Эллипсометр спектральный APECS 3000 (производитель Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия) внесены в Государственный реестр средств измерений (ГРСИ РФ) рег. №43467-09.

Скачать

	43467-09: Описание типа СИ	Скачать
	43467-09: Методика поверки	Не доступен

Информация из Госреестра
(ФГИС "АРШИН") #

Основные атрибуты
Номер в госреестре	43467-09
Наименование СИ	Эллипсометр спектральный
Обозначение типа СИ	APECS 3000
Номер записи	131757
Дата опубликования	8 мая 2018 г.

Страна и предприятие-изготовитель
Изготовитель	Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия
Страна	ГЕРМАНИЯ
Отсутствует в списке лиц, направивших уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности	Да
Предприятие-изготовитель	Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH"

Общее
Процедура	Стандартная
Сведения о типе СИ	Заводской номер
Заводской номер	зав.№ 05-0405-003